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发明名称 VORRICHTUNG ZUR STEUERUNG EINES EINE PIEZOELEKTRISCHE BETAETIGUNGSEINRICHTUNG VERWENDENDEN SERVOSYSTEMS
摘要
申请公布号 DE3803032(A1) 申请公布日期 1988.08.11
申请号 DE19883803032 申请日期 1988.02.02
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORP. OF JAPAN, TOKIO/TOKYO, JP;FUTAMI, SHIGERU, IBARAKI, JP 发明人 FUTAMI, SHIGERU, IBARAKI, JP
分类号 G05B19/19;G05B19/39;H01L41/04;(IPC1-7):G05D3/14 主分类号 G05B19/19
代理机构 代理人
主权项
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