发明名称 VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH METHOD OF 3-V COMPOUND SEMICONDUCTOR USING INDIUM, TO WHICH IRON IS DOPED, AS BASE
摘要
申请公布号 JPS63193897(A) 申请公布日期 1988.08.11
申请号 JP19880007669 申请日期 1988.01.19
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 UIRUBAA DEII JIYONSUTON JIYUNIA;JIYUDEISU AN RONGU;DANIERU POORU UIRUTO
分类号 B42D15/08;B65D27/10;C30B25/02;C30B29/40;H01L21/205;H01L33/00;H01L33/30;H01S5/223;H01S5/227;H01S5/24 主分类号 B42D15/08
代理机构 代理人
主权项
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