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发明名称 X-RAY REFLECTIVE MASK AND SYSTEM FOR IMAGE FORMATION WITH USE OF THE SAME
摘要
申请公布号 GB2200766(A) 申请公布日期 1988.08.10
申请号 GB19870027566 申请日期 1987.03.24
申请人 * SHIMADZU CORPORATION 发明人 KENJI * IWAHASHI
分类号 G03F1/00;G03F1/14;G03F1/24;G03F7/20;G21K1/06;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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