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发明名称 CHARGED PARTICLES DETECTOR
摘要
申请公布号 EP0254127(A3) 申请公布日期 1988.08.10
申请号 EP19870109816 申请日期 1987.07.07
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 FROSIEN, JURGEN, DR.-ING.;SCHMITT, REINHOLD, DIPL.-ING.
分类号 G01T1/20;G01T1/28;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 G01T1/20
代理机构 代理人
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