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经营范围
发明名称
METHOD OF DRY ETCHING OR FILM FORMATION
摘要
申请公布号
EP0186419(A3)
申请公布日期
1988.08.10
申请号
EP19850309195
申请日期
1985.12.17
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
TSUJII, KANJI;YAJIMA, YUSUKE;MURAYAMA, SEIICHI
分类号
C23C14/22;C23C26/00;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00
主分类号
C23C14/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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