发明名称 METHOD OF DRY ETCHING OR FILM FORMATION
摘要
申请公布号 EP0186419(A3) 申请公布日期 1988.08.10
申请号 EP19850309195 申请日期 1985.12.17
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 TSUJII, KANJI;YAJIMA, YUSUKE;MURAYAMA, SEIICHI
分类号 C23C14/22;C23C26/00;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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