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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG FUER DIE GALVANISCHE BESCHICHTUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD259061(A1) 申请公布日期 1988.08.10
申请号 DD19870301045 申请日期 1987.03.23
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK "ANNA SEGHERS" NEUHAUS,DD 发明人 THIELEMANN,JOACHIM,DD;KOCH,MANFRED,DD
分类号 H01L21/288;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/288 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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