Device for the quasi-continuous treatment of substrates.

摘要

Vorrichtung zum Behandeln von in Kassetten angelieferten Substraten mit einer Folge von Schleusen- und Behandlungskammern mit einem Transportsystem für den Transport mindestens eines Substrathalters durch die Kammern und mit einer Chargierstation. Zur Lösung der Aufgabe, die Vorrichtung am laufenden Band mit Substraten beschicken zu können, ohne daß die Substrate in allen Raumkoordinaten durch formschlüssige Halterungen gehalten werden müssen, sind a) die Substrathalter (30) zur Halterung jeweils eines Substrats (5) unter einem spitzen Winkel zu einer senkrechten Ebene ausgebildet und b) weist die Chargierstation (25) eine Verschiebeeinrichtung (34) für mindestens eine Kassette (26,27) und eine Manipulatoreinrichtung (28) auf, durch die die Aushub- bzw. Einsatzbewegung des jeweiligen Substrats (5) aus der bzw. in die Kassette (26, 27) in senkrechter Richtung durchführbar ist und durch die das Substrat durch eine Schwenkbewegung um 90 Grad in eine der Lage der Aufnahmeebene des Substrathalters (30) im wesentlichen entsprechende Schräglage bringbar ist.