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发明名称 AUTOMATED OPTICAL LINEWIDTH MEASUREMENT
摘要
申请公布号 GB2172993(B) 申请公布日期 1988.08.10
申请号 GB19860006972 申请日期 1986.03.20
申请人 * VICKERS PLC 发明人 DR CHRISTOPHER PAUL * KIRK
分类号 G01B11/02;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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