发明名称 Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen von Mikrohalbleiterbauelementen nach der Planartechnik
摘要
申请公布号 CH490738(A) 申请公布日期 1970.05.15
申请号 CH19690007543 申请日期 1969.05.19
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHEMBS,WOLFGANG
分类号 H01L21/00;H01L21/22;(IPC1-7):H01L7/64;H01L7/44 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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