发明名称 |
Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen von Mikrohalbleiterbauelementen nach der Planartechnik |
摘要 |
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申请公布号 |
CH490738(A) |
申请公布日期 |
1970.05.15 |
申请号 |
CH19690007543 |
申请日期 |
1969.05.19 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
SCHEMBS,WOLFGANG |
分类号 |
H01L21/00;H01L21/22;(IPC1-7):H01L7/64;H01L7/44 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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