| 发明名称 |
METHOD OF FORMING CONDUCTIVE LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63190396(A) |
申请公布日期 |
1988.08.05 |
| 申请号 |
JP19870022896 |
申请日期 |
1987.02.03 |
| 申请人 |
MITSUBISHI KASEI CORP |
发明人 |
TAKEUCHI TSUTOMU;SARUWATARI YASUO;NAKANO KUNIHIRO |
| 分类号 |
G03F7/40;G02F1/13;G02F1/155;G03F7/26;H01B13/00;H05K3/08 |
主分类号 |
G03F7/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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