发明名称
摘要
申请公布号 JPS63121435(U) 申请公布日期 1988.08.05
申请号 JP19870011503U 申请日期 1987.01.30
申请人 发明人
分类号 G03F7/16;B05B1/02;G03F7/00;G03F7/30;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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