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发明名称 MEASUREMENT OF MATRIX TYPE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS63189897(A) 申请公布日期 1988.08.05
申请号 JP19870022678 申请日期 1987.02.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SAKAMOTO HIROKAZU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G02F1/133;G02F1/1343;G09F9/00;G09G3/36;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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