发明名称 Apparatus for Carrying Out an Etching Process
摘要
申请公布号 GB1194748(A) 申请公布日期 1970.06.10
申请号 GB19670056947 申请日期 1967.12.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 B01D9/00;B01F1/00;C23F1/46 主分类号 B01D9/00
代理机构 代理人
主权项
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