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发明名称 PROCESS FOR FORMING TITANE STRUCTURES WITH PRECISE DIMENSIONS
摘要
申请公布号 DE3563546(D1) 申请公布日期 1988.08.04
申请号 DE19853563546 申请日期 1985.07.01
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 HORN, HEINRICH A., DIPL. GEOL.;PRIMIG, ROBERT, ING.
分类号 C23F1/26;(IPC1-7):C23F1/26 主分类号 C23F1/26
代理机构 代理人
主权项
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