发明名称 COPOLYMERISATE MIT O-NITROCARBINOLESTERGRUPPIERUNGEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ZWEILAGENRESISTEN SOWIE VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DE3702035(A1) 申请公布日期 1988.08.04
申请号 DE19873702035 申请日期 1987.01.24
申请人 BASF AG 发明人 SCHWALM,REINHOLD,DR.;BINDER,HORST
分类号 G03C1/72;C08F20/34;C08F30/08;C08F220/26;C08F220/36;C08F222/22;C08F230/08;G03F7/039;G03F7/095;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):C08F230/08;C08F220/04;C08F222/02 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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