DOSE MEASUREMENT AND UNIFORMITY MONITORING SYSTEM FOR ION IMPLANTATION.

摘要

L'appareil décrit permettant de déterminer une dose d'ions et d'assurer une uniformité dans les doses d'ions d'un faisceau d'ions (12) qui balaye un plan-cible (15) en réponse à des signaux de balayage comprend un ensemble de masquage (30) pour détecter le courant du faisceau en plusieurs emplacements différents et pour produire un seul signal de courant du faisceau. L'ensemble de masquage comprend une plaque de masquage (36) pourvue d'ouvertures de détection et d'une cage de Faraday annulaire (54) alignée avec les ouvertures pour détecter le courant du faisceau. Le signal du courant du faisceau est intégré dans le temps pour déterminer la dose d'ions. Un démultiplexeur (70) sépare, en réponse à des signaux de balayage x et y, le signal du courant du faisceau en des composantes de signaux séparées à partir de chaque ouverture de détection. L'uniformité des doses d'ions est déterminée en comparant les composantes de signaux séparées, intégrés dans le temps, à une valeur moyenne de la composante de signal.