Method for electron beam guidance with energy selection, and electron spectrometer.

摘要

Hohe Energieauflösung bei hohem Elektronenstrom an der Probe bzw. am Detektor erhält man durch eine Elektronenstrahl-Führung mit fokussierender Energieselektion, insbesondere in einem Elektronenspektrometer mit Emissionssystem und zumindest einem energiedispersiven System mit unterschiedlicher Fokussierung in zwei zueinander senkrechten Richtungen, durch ein dem energiedispersiven System nach- bzw. vorgeschaltetes nicht zirkular symmetrisches Linsensystem (4-10), das die unterschiedliche Fokussierung der Elektronen in den beiden zueinander senkrechten Richtungen derart korrigiert, daß entweder die virtuelle oder reelle Eingangsblende des energiedispersiven Systems auf einer vorgegebenen Bildebene außerhalb des energiedispersiven Systems oder ein Gegenstand außerhalb des energiedispersiven Systems auf der virtuellen oder reellen Ausgangsblende desselben abgebildet wird.