发明名称 |
THICK FILM CIRCUIT LITHOGRAPHY APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS63187688(A) |
申请公布日期 |
1988.08.03 |
申请号 |
JP19870018555 |
申请日期 |
1987.01.30 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ODAJIMA HITOSHI;TSUTSUI YOSHITAKA;KAWARADA MASAYUKI;YANO TAKESHI;ATO KAZUHIKO |
分类号 |
B41J2/335;H01C17/06;H05K3/10 |
主分类号 |
B41J2/335 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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