Pressure transducer for static pressure charges with a silicon body.

摘要

Bekannte Druckaufnehmer haben einen Siliziumkörper, der auf einem Trägersubstrat angeordnet ist. Der Siliziumkörper hat einen sacklochartigen Hohlraum, wodurch sich eine Membran bildet. Auf deren Außenfläche ist eine mit piezoresistiven Widerstandselementen aufgebaute Wheatstone-Brücke angeordnet. Die Spannungs-Druck-Kennlinie dieser Druckaufnehmer weist bei Druckbelastungen über 250 bar eine Nichtlinearität von über einem Prozent auf. Diese Nichtlinearität soll verringert werden. Dazu wird im Siliziumkörper (1) beiderseits der am Außenrand der Membran (5) angeordneten Widerstandselemente (8, 9) ein weiterer Hohlraum (10) vorgesehen.