| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS63188094(A) |
申请公布日期 |
1988.08.03 |
| 申请号 |
JP19870020835 |
申请日期 |
1987.01.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
UENISHI KENJI;KIKUCHI TATSUO;NAGAI TAKEOCHI |
| 分类号 |
H01L21/56;B42D15/02;B42D15/10;H01L23/28 |
主分类号 |
H01L21/56 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
