| 发明名称 |
Process and composition for purifying arsine, phosphine, ammonia, and inert gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4761395(A) |
申请公布日期 |
1988.08.02 |
| 申请号 |
US19870029632 |
申请日期 |
1987.03.24 |
| 申请人 |
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. |
发明人 |
TOM, GLENN M.;BROWN, DUNCAN W. |
| 分类号 |
B01D53/02;B01D53/28;B01J20/22;B01J20/32;C01B6/06;C01B6/34;C01B21/04;C01B23/00;C01B25/06;C01G28/00;C10B25/06;(IPC1-7):B01J20/04;B01J20/16 |
主分类号 |
B01D53/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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