发明名称 MANUFACTURE OF FOCUSSING MIRROR
摘要
申请公布号 JPS63186199(A) 申请公布日期 1988.08.01
申请号 JP19870017600 申请日期 1987.01.27
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIKAWA MICHIO
分类号 H01L21/301;G01J3/12;G21K1/06;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/64 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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