| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING HIGH PURITY CHEMICALS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63185401(A) |
申请公布日期 |
1988.08.01 |
| 申请号 |
JP19870015219 |
申请日期 |
1987.01.27 |
| 申请人 |
TAMA KAGAKU KOGYO KK;MOOZESU REIKU IND INC |
发明人 |
SHIMIZU SHUNPEI;YOSHIZAKO MAMORU;CHIYOU SHIYUNREN |
| 分类号 |
B01D3/00;B01D3/16;B01D3/22;C01B7/07;C01B7/13;C01B7/19;C01B11/16;C01B21/46;C07C17/383;C07C45/78;C07C45/81;C07C45/82;C07C51/44 |
主分类号 |
B01D3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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