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发明名称 APPARATUS FOR HANDLING SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 IL85329(D0) 申请公布日期 1988.07.31
申请号 IL19880085329 申请日期 1988.02.05
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人
分类号 B25J18/02;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 B25J18/02
代理机构 代理人
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