发明名称 PROCEDE DE FORMATION D'UN RESEAU METALLIQUE MULTICOUCHE D'INTERCONNEXION DES COMPOSANTS D'UN CIRCUIT INTEGRE DE HAUTE DENSITE ET CIRCUIT INTEGRE EN RESULTANT
摘要
申请公布号 FR2588418(B1) 申请公布日期 1988.07.29
申请号 FR19850014670 申请日期 1985.10.03
申请人 BULL SA 发明人 PIERRE MERENDA, PHILIPPE CHANTRAINE ET DANIEL LAMBERT
分类号 H01L21/3205;H01L21/31;H01L21/768;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/95;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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