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发明名称 WAFER HEIGHT CORRECTION SYSTEM FOR FOCUSED BEAM SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0148856(B1) 申请公布日期 1988.07.27
申请号 EP19840902184 申请日期 1984.05.21
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 REEDS, JOHN, W.
分类号 H01J37/20;H01J37/21;H01J37/30;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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