发明名称 PROCESS FOR AUTOMATICALLY ADJUSTING THE OPERATING POINT OF CORPUSCULAR RADIATION-MEASURING APPARATUSES DURING SIGNAL STRUCTURE MEASUREMENT
摘要
申请公布号 EP0156006(B1) 申请公布日期 1988.07.27
申请号 EP19840114711 申请日期 1984.12.04
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 FEUERBAUM, HANS-PETER, DR. ING.;FAZEKAS, PETER, DIPL.-ING.
分类号 H01J37/28;G01Q10/06;G01R31/302;G01R31/305;G01T1/28;H01J37/04;H01J37/244;H01J37/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28;G01R31/26 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
地址