| 发明名称 |
PROCESS AND APPARATUS FOR TREATING SEMICONDUCTOR WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2176908(B) |
申请公布日期 |
1988.07.27 |
| 申请号 |
GB19850026769 |
申请日期 |
1985.10.30 |
| 申请人 |
* CFM TECHNOLOGIES LIMITED PARTNERSHIP |
发明人 |
CHRISTOPHER F * MCCONNELL;ALAN E * WALTER |
| 分类号 |
H01L21/306;B05B3/04;B05C3/109;B08B3/04;B08B7/00;C23C16/54;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):F15D1/02;H01L21/465 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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