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发明名称 EINRICHTUNG ZUR PIEZOELEKTRISCHEN POSITIONIERUNG
摘要
申请公布号 DD154146(B1) 申请公布日期 1988.07.27
申请号 DD19800225602 申请日期 1980.12.01
申请人 DITTRICH,PETER,DR.-ING.,DE;MUELLER,LOTHAR,DIPL.-ING.,DE;SCHELER,WERNER,DIPL.-ING.,DE;BATTIG,UDO,DE 发明人 DITTRICH,PETER,DR.-ING.,DE;MUELLER,LOTHAR,DIPL.-ING.,DE;SCHELER,WERNER,DIPL.-ING.,DE;BATTIG,UDO,DE
分类号 B23Q16/00;G12B5/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B23Q16/00
代理机构 代理人
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