发明名称 PROCESS FOR FORMING TUNGSTEN BARRIER ELECTRICAL CONNECTION
摘要
申请公布号 US3537174(A) 申请公布日期 1970.11.03
申请号 USD3537174 申请日期 1968.10.07
申请人 GENERAL ELECTRIC CO. 发明人 JOHN E. MAY
分类号 H01L21/00;H01L21/60;(IPC1-7):B01J17/00;H01L5/00;H01L7/10;H01L7/12;H01L7/48 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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