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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER AUS INTEGRIERTEN TEILSCHALTUNGEN AUFGEBAUTEN SCHALTUNGSANORDNUNG
摘要
申请公布号 DD258684(A1) 申请公布日期 1988.07.27
申请号 DD19860290214 申请日期 1986.05.14
申请人 INGENIEURHOCHSCHULE MITTWEIDA DIREKTORAT FORSCHUNG U. IB,DD 发明人 HOENICKE,HENRY,DD;HOESEL,MICHAEL,DD
分类号 H01L21/306;H01L25/04;H01L27/00;(IPC1-7):H01L25/04 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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