发明名称 A METHOD OF FORMING AN ELECTRONIC CIRCUIT STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0077445(B1) 申请公布日期 1988.07.27
申请号 EP19820107379 申请日期 1982.08.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BROERS, ALEC NIGEL;LAIBOWITZ, ROBERT BENJAMIN
分类号 G03F1/00;G03F1/08;G03F7/095;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/00;H05K3/04;H05K3/06;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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