| 发明名称 |
PHOTOGRAPHIC PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR MICROSTRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3542469(A) |
申请公布日期 |
1970.11.24 |
| 申请号 |
USD3542469 |
申请日期 |
1968.06.13 |
| 申请人 |
TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGS GMBH. |
发明人 |
KLAUS HENNINGS |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/00;(IPC1-7):G01B11/26 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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