发明名称 FAST LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 JPS63180997(A) 申请公布日期 1988.07.26
申请号 JP19870012993 申请日期 1987.01.22
申请人 SONY CORP 发明人 WAKITA TOSHIAKI
分类号 G09G5/20;G09G1/02;G09G1/16;G09G5/38;G09G5/39 主分类号 G09G5/20
代理机构 代理人
主权项
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