发明名称
摘要
申请公布号 JPS63115156(U) 申请公布日期 1988.07.25
申请号 JP19870006969U 申请日期 1987.01.22
申请人 发明人
分类号 G03G15/04;G03G15/043;G03G15/047;H01L33/60;H01L33/62;(IPC1-7):G03G15/04;H01L33/00 主分类号 G03G15/04
代理机构 代理人
主权项
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