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发明名称
Vorrichtung zum thermischen Behandeln von Koerpern aus halbleitendem Material
摘要
申请公布号
DE1644008(A1)
申请公布日期
1970.12.17
申请号
DE19671644008
申请日期
1967.06.20
申请人
SIEMENS AG
发明人
WOELFLE,DIPL.-PHYS.RUDOLF
分类号
C23C16/448;C30B25/10
主分类号
C23C16/448
代理机构
代理人
主权项
地址
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