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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6337072(B2) 申请公布日期 1988.07.22
申请号 JP19840181553 申请日期 1984.08.30
申请人 MITSUBISHI METAL CORP 发明人 HIJIKATA KENICHI;SUGIHARA TADASHI;KOMABAYASHI MASASHI
分类号 C04B35/58;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C04B35/58
代理机构 代理人
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