| 发明名称 |
INSPECTION OF TFT ARRAY CIRCUIT BOARD INTERCONNECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63177198(A) |
申请公布日期 |
1988.07.21 |
| 申请号 |
JP19870008021 |
申请日期 |
1987.01.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SASANO AKIRA;KANEKO YOSHIYUKI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/28;G09F9/00;G09G3/36;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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