| 发明名称 |
COOLING WATER FEEDER FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63176956(A) |
申请公布日期 |
1988.07.21 |
| 申请号 |
JP19870006097 |
申请日期 |
1987.01.16 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAHASHI KENJI;TORII TAKUJI;YAMASHITA TETSUHARU;ZUSHI SHIZUO |
| 分类号 |
F25B13/00;F25B1/00;F25B29/00;F25D1/02;F25D9/00;F25D13/00;H01L23/46;H01L23/473;H05K7/20 |
主分类号 |
F25B13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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