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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS63176192(A) 申请公布日期 1988.07.20
申请号 JP19870006025 申请日期 1987.01.16
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 SATO KEIICHI;TSUBOI TOSHIHIRO;TAKASE HIROYUKI;TANABE SHINICHI
分类号 H01L23/15;B42D15/02;B42D15/10;H01L23/14;H01L23/28 主分类号 H01L23/15
代理机构 代理人
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