申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN;KARL SUSS KG PRAZISIONSGERATE FUR WISSENSCHAFT UND INDUSTRIE - GMBH & CO.;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
MULLER, KARL-HEINZ, DR.;BETZ, HANS, DR.-ING.;VACH, WILHELM, DR.;KRENNER, JOHANN |