Detector assembly with detector objective for corpuscular ray instruments.

摘要

Ein Detektorobjektiv bildet die Komponente der elektronenoptischen Säule eines Rasterelektronenmikroskopes, mit der die in einer Hochstromquelle erzeugten Primärelektronen (PE) auf eine Probe (PR) fokussiert und die auf der Probe (PR) ausgelösten Sekundärelektronen (SE) in Richtung eines Detektors (DT) beschleunigt werden. Das Detektorobjektiv besteht im wesentlichen aus einer unsymmetrischen Magnetlinse (ML), einer ein nahezu rotationssymmetrisches Feld erzeugenden elektrostatischen Immersionslinse und einem unmittelbar oberhalb des Linsenkörpers angeordneten ringförmigen Detektor (DT). Während eine vorzugsweise kegelstumpfförmige Elektrode (KE) der Immersionslinse im oberen Polschuh (OP) der Magnetlinse (ML) isoliert angeordnet ist, bildet der untere Polschuh (UP) die zweite Elektrode der Immersionslinse. Diese Elektroden (KE, UP) sind mit Potentialen (UKE, UUP) derart beaufschlagt, daß sich dem fokussierenden Magnetfeld ein die Primärelektronen (PE) abbremsendes elektrisches Feld überlagert.