发明名称 MICRO-DISPLACEMENT MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2172700(B) 申请公布日期 1988.07.20
申请号 GB19860004615 申请日期 1986.02.25
申请人 * SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 OSAMU * YAMAMOTO;HIROSHI * HAYASHI;SADAYOSHI * MATSUI;HARUHISA * TAKIGUCHI;NOBUYUKI * MIYAUCHI
分类号 G01D5/30;G01B9/02;G01B11/00;G01D5/26;H01S3/08;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/24;G01P13/04 主分类号 G01D5/30
代理机构 代理人
主权项
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