| 发明名称 |
OPTICAL TYPE SURFACE INSPECTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63175751(A) |
申请公布日期 |
1988.07.20 |
| 申请号 |
JP19870288621 |
申请日期 |
1987.11.17 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
JIYON SAMIYUURU BAACHIERUDAA |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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