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发明名称
MANUFACTURE OF SPUTTER TARGET FOR TRANSPARENT ELECTRODE
摘要
申请公布号
JPS63175304(A)
申请公布日期
1988.07.19
申请号
JP19870006462
申请日期
1987.01.14
申请人
FUJITSU LTD
发明人
RI NARIMOTO
分类号
H01L21/28;C23C14/34;H01B13/00;H01L21/285
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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