发明名称 MANUFACTURE OF SPUTTER TARGET FOR TRANSPARENT ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPS63175304(A) 申请公布日期 1988.07.19
申请号 JP19870006462 申请日期 1987.01.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 RI NARIMOTO
分类号 H01L21/28;C23C14/34;H01B13/00;H01L21/285 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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