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发明名称 Stud formation method optimizing insulator gap-fill and metal hole-fill
摘要
申请公布号 US4758306(A) 申请公布日期 1988.07.19
申请号 US19870086120 申请日期 1987.08.17
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CRONIN, JOHN E.;KAANTA, CARTER W.
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):B44C1/22;C03C15/00;C03C25/06;C23F1/02 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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