| 发明名称 |
Blend of solvent and arylsiloxane interlayer dielectric materials |
| 摘要 |
Striation-free interlayer dielectric films of good reflectivity are formed by spin-coating a solution comprising 1,2,4-trimethylbenzene solvent containing a dissolved arylsiloxane oligomer or polymer capable of forming an interlayer dielectric film.
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| 申请公布号 |
US4758620(A) |
申请公布日期 |
1988.07.19 |
| 申请号 |
US19870069087 |
申请日期 |
1987.07.02 |
| 申请人 |
AKZO AMERICA INC. |
发明人 |
WHITWELL, GEORGE E.;DEATCHER, JOHN H. |
| 分类号 |
C08J3/09;C09D183/04;(IPC1-7):C08K5/01 |
主分类号 |
C08J3/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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