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发明名称
摘要
申请公布号 JPS63112334(U) 申请公布日期 1988.07.19
申请号 JP19870002467U 申请日期 1987.01.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;C23C14/34;C23F4/00;H01L21/26;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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