| 发明名称 |
SYNCHROTRON RADIATION BEAM GENERATOR AND EXPOSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63175400(A) |
申请公布日期 |
1988.07.19 |
| 申请号 |
JP19870006042 |
申请日期 |
1987.01.16 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
HOSOKAWA TERUO |
| 分类号 |
H05H13/04;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H05H13/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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