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发明名称
PREPARATION APPARATUS FOR ULTRAPURE POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号
KR1019880001252(B1)
申请公布日期
1988.07.16
申请号
KR1019860008505
申请日期
1986.10.10
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
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